Horizontāla caurules krāsns
2.Lab kastes krāsns aprīkojums: 1L -36 l
3. darba temperatūra var sasniegt 1200 grādu -1700 grādu
*** Cenu saraksts visam iepriekš minētajam, uzziniet mūs, lai iegūtu
Apraksts
Tehniskie parametri
IevadsHorizontāla caurules krāsns, tā ir apkures iekārta, ko plaši izmanto materiālu zinātnē, ķīmiskajā inženierijā, pusvadītāju ražošanā un citos laukos. Tās strukturālā īpašība atrodas krāsns cauruļu horizontālā izvietojumā, kuras karsē ar sildīšanas elementiem, lai apstrādātu materiālus krāsns caurulēs. Tas silda paraugu caur horizontāli sakārtotām krāsns caurulēm, kurām ir precīza temperatūras kontroles, vienmērīgas sildīšanas un ērtas darbības priekšrocības.
Īpaši pusvadītāju ražošanā tam ir plašs lietojumu klāsts un ievērojama vērtība. Tās unikālā struktūra un funkcija padara to ļoti vērtīgu tādās lietojumprogrammās kā silīcija vafeļu atkvēlināšana, termiskās apstrādes, metalizācijas process, kodināšanas process un iepakojuma process. Tajā pašā laikā augstas precizitātes kontrole, augstas efektivitātes apstrāde, laba pielāgošanās spēja un lieliskā IT stabilitāte arī padara to ļoti uzticamu un stabilu pusvadītāju ražošanā.
Parametrs
Darba princips
Darba principshorizontāla caurules krāsnsir balstīts uz siltuma vadīšanas un konvekcijas principiem. Kad sildīšanas elements ir ieslēgts sildīšanai, siltums tiek pārnests uz krāsns caurulīti un paraugu caur termisko vadīšanu, savukārt karstais gaiss krāsns iekšpusē vienmērīgi izplata siltumu visā krāsnī, izmantojot konvekciju.
Apkures process:
Pēc tam, kad sildīšanas elements ir ieslēgts, tas rada siltumu un nodod to uz krāsns caurulīti. Pēc tam, kad krāsns ir uzkarsēta, tā pārnes siltumu uz paraugu iekšpusē. Sakarā ar izcilo krāsns caurules siltumvadītspēju, paraugs var ātri sasniegt noteikto temperatūru.
Temperatūras kontrole:
Temperatūras kontroles sistēma reālā laikā uzrauga temperatūru krāsnī un pielāgo sildīšanas elementa jaudu, pamatojoties uz starpību starp noteikto temperatūru un izmērīto temperatūru. Kad izmērītā temperatūra ir augstāka par noteikto temperatūru, kontrolieris samazina sildīšanas elementa jaudu; Kad izmērītā temperatūra ir zemāka par iestatīto temperatūru, kontrolieris palielina sildīšanas elementa jaudu. Nepārtraukti pielāgojot sildīšanas elementa jaudu, temperatūru krāsns iekšpusē var uzturēt nemainīgu.
Atmosfēras kontrole:
Atmosfēras vadības sistēma kontrolē atmosfēras vidi krāsns iekšpusē, pielāgojot gāzes plūsmas ātrumu un veidu. Piemēram, pusvadītāju ražošanas procesā ir nepieciešams kontrolēt skābekļa un ūdens tvaiku saturu krāsns iekšpusē, lai izvairītos no parauga oksidācijas un piesārņojuma. Atmosfēras vadības sistēma var precīzi kontrolēt atmosfēras vidi krāsnī, lai izpildītu procesa prasības.
Īpaša horizontālās caurules mēbeļu pielietošana pusvadītāju ražošanā
Horizntal caurules mēbelei ir plašs pielietojums pusvadītāju ražošanā, un tās unikālā struktūra un funkcija padara to par vienu no neaizstājamām iekārtām pusvadītāju apstrādes procesā.
Pamatstruktūra un darba princips
Horizntal caurules mēbele ir parasti izmantots pusvadītāju apstrādes iekārta, kas izskatās kā gara caurule un kurai ir augsta temperatūras reakcijas kamera. Ierīce izmanto atmosfēras kontroles metodi, un, lai sasniegtu vislabāko apstrādes efektu, var izvēlēties atšķirīgu atmosfēras vidi atbilstoši dažādām apstrādes prasībām.
Horionalas caurules apdares darba princips ir reaģentu sildīšana krāsns dobumā, izraisot tām ķīmiskām reakcijām vai fiziskām izmaiņām augstā temperatūrā, tādējādi sasniedzot apstrādes mērķi. Pusvadītāju ražošanā horizontālās caurules mēbeles galvenokārt izmanto silīcija vafeļu atkvēlināšanai un termiskai apstrādei.
Pielietojums silīcija vafeļu atkvēlināšanā
Uzlabot silīcija vafeļu režģa integritāti
Silīcija vafele ir viens no svarīgākajiem materiāliem pusvadītāju nozarē, un tā kvalitāte un veiktspēja tieši ietekmē pusvadītāju ierīču uzticamību un veiktspēju. Apstrādes laikā silīcija vafeles stresa dēļ ir pakļautas graudu robežu stiepšanai, kas var izraisīt silīcija kristālu lūzumu un bojājumus. Izmantojot augstas temperatūras atkvēlināšanu horionālās caurules krāsnī, silīcija vafeļu spriegumu var noņemt, saglabājot to neskartu un izvairoties no silīcija vafeles režģa bojājumiem.
Atkalošanas procesa laikā silīcija vafele tiek novietota horionālās caurules krāsns iekšpusē un kādu laiku tur augstā temperatūrā, pakāpeniski atbrīvojot silīcija vafeļu iekšējo spriegumu un pārkārtojot režģi, tādējādi uzlabojot silīcija vafona silīcija vafeles integritāti.
Silīcija vafeļu elektrisko īpašību uzlabošana
Silīcija vafeļu elektriskās īpašības ir viens no galvenajiem faktoriem, kas ietekmē pusvadītāju ierīču darbību. Atkausējot horionālās caurules krāsnī, var uzlabot silīcija vafeļu elektriskās īpašības, un to vadītspēju un stabilitāti var uzlabot.
Atkalošanas procesa laikā silīcija vafele reaģē ar atmosfēru krāsns iekšpusē augstā temperatūrā, noņemot oksīdu uz silīcija vafeles virsmas un aktivizējot piemaisījumu atomus silīcija vafeles iekšpusē, tādējādi uzlabojot tā elektriskās īpašības.
Oksīdu noņemšana no silīcija vafeļu virsmas
Silīcija vafeļu virsma bieži satur oksīdus, kas var ietekmēt to vadītspēju un stabilitāti. Ražošanas procesa laikā ir jānoņem oksīdi no silīcija vafeļu virsmas, lai nodrošinātu to plakanumu un gludumu, tādējādi uzlabojot pusvadītāju ierīču darbību.
Horionālās caurules krāsns caur atmosfēras kontroli var noņemt oksīdus uz silīcija vafeļu virsmas. Atkalošanas procesa laikā atmosfēra krāsns iekšpusē reaģē ar oksīdu uz silīcija vafeles virsmas, lai radītu nepastāvīgas vielas, kuras pēc tam izvada caur krāsns izplūdes sistēmu, lai sasniegtu mērķi noņemt oksīdu.
Pielietojums silīcija vafeļu termiskās apstrādes
Leģētu silīcija vafeļu kontrole
Pusvadītāju ierīcēs ir nepieciešami silīcija vafeles ar dažādiem materiāliem, kas saistīti ar dažādiem materiāliem, ņemot vērā atšķirīgās elektriskās veiktspējas prasības. Horionālās caurules krāsns var izmantot dažādus atmosfēras kontroles parametrus, lai kontrolētu silīcija vafeļu dopinga pakāpi un dziļumu, lai izpildītu dažādu silīcija vafeļu dopinga ierīču prasības.
Dopinga procesa laikā silīcija vafele tiek novietota horionālās caurules krāsns iekšpusē, un atmosfēra krāsns iekšpusē reaģē ar silīcija vafeļu, ļaujot leģētiem atomiem iekļūt silīcija vafeles iekšpusē. Pielāgojot parametrus, piemēram, atmosfēru un temperatūru krāsns iekšpusē, leģētu atomu skaitu un sadalījumu var kontrolēt, lai sasniegtu vēlamo dopinga efektu.
Plānu plēvju sagatavošana uz silīcija vafeļu virsmas
Pusvadītāju ražošanā dažreiz ir jāsagatavo plāna plēve uz silīcija vafeļu virsmas, lai uzlabotu tā veiktspēju vai sasniegtu īpašas funkcijas. Plānai plēves sagatavošanai uz silīcija vafeļu virsmas var izmantot horizntāla caurules krāsni.
Plānā plēves sagatavošanas procesa laikā silīcija vafele tiek novietota horizontālās caurules frnace iekšpusē, un atmosfēra krāsns iekšpusē reaģē ar silīcija vafeļu virsmu augstā temperatūrā, lai radītu vēlamo plānu plēvi. Pielāgojot parametrus, piemēram, atmosfēru, temperatūru un reakcijas laiku krāsns iekšpusē, var kontrolēt plēves biezumu, sastāvu un īpašības.
Silīcija vafeļu oksidācija un nitrids
Silīcija vafeļu oksidācija un nitridācija ir svarīgi procesa posmi pusvadītāju ražošanā. Horizntal caurules krāsni var izmantot silīcija vafeļu oksidēšanai un nitring apstrādei.
Oksidācijas procesa laikā silīcija vafeļu ievieto horizntālās caurules krāsns krāsns kamerā, un skābeklis krāsns kamerā reaģē ar silīcija vafeles virsmu augstā temperatūrā, veidojot silīcija dioksīda plēvi. Pielāgojot parametrus, piemēram, skābekļa koncentrāciju, temperatūru un reakcijas laiku krāsns iekšpusē, var kontrolēt silīcija dioksīda plēves biezumu un īpašības.
Nitrēšanas procesa laikā silīcija vafele tiek novietota horizntālās caurules krāsns iekšpusē, un slāpekļa gāze krāsns iekšpusē reaģē ar silīcija vafeles virsmu augstā temperatūrā, veidojot silīcija nitrīda plēvi. Silīcija nitrīda plānām plēvēm ir lieliska nodiluma izturība, izturība pret koroziju un augstas temperatūras stabilitāte, ko var izmantot, lai aizsargātu silīcija vafeļu virsmu vai sasniegtu īpašas funkcijas.
Citi horizontālās caurules krāsns pielietojumi pusvadītāju ražošanā
Metālizācijas process
Metālizācijas process ir viens no svarīgākajiem pusvadītāju ražošanas posmiem, ko izmanto, lai izveidotu metāla elektrodus vai vadus uz silīcija vafelēm. Horizntālās caurules krāsnis var izmantot, lai atkvēlinātu apstrādi metalizācijas procesos, lai uzlabotu metāla elektrodu vai vadu saķeri un stabilitāti.
Atskrūšanas procesa laikā metāla silīcija vafele tiek novietota horizntālas caurules krāsns krāsns kamerā un uz noteiktu laiku tur augstā temperatūrā, lai savienotu savienojumu starp metāla elektrodu vai stiepli un silīcija vafeļu stingrāku, tādējādi uzlabojot tā saķeri un stabilitāti.
Kodināšanas process
Kodināšanas process ir solis, ko izmanto pusvadītāju ražošanā, lai noņemtu lieko materiālu no silīcija vafeļu virsmas. Horizntāla caurules krāsni var izmantot, lai atkvēlinātu ārstēšanu pēc kodināšanas procesa, lai noņemtu bojājumus un stresu, kas radies kodināšanas procesā.
Atkalošanas procesa laikā iegravēto silīcija vafeļu ievieto horizntālās caurules krāsns iekšpusē un kādu laiku tur augstā temperatūrā, pakāpeniski atbrīvojot silīcija vafeļu iekšējo spriegumu un pārkārtojot režģi, tādējādi noņemot bojājumus un stresu, kas radies kodināšanas procesā.
Iepakojuma process
Iepakojuma process ir pēdējais solis pusvadītāju ražošanā, ko izmanto, lai iekapsulētu pusvadītāju ierīces aizsardzības čaumalās, lai uzlabotu to uzticamību un stabilitāti. Horizntal caurules krāsni var izmantot, lai atkvēlinātu apstrādi iepakojuma procesos, lai noņemtu spriegumu un bojājumus, kas radušies iepakojuma procesā.
Atkalošanas procesa laikā iesaiņotā pusvadītāja ierīce tiek ievietota horizntālās caurules krāsns iekšpusē un uz noteiktu laiku tur augstā temperatūrā, lai pakāpeniski atbrīvotu spriegumu iesaiņojuma materiālā, pārkārtot režģi un noņemtu spriegumu un bojājumus, kas radīti iepakojuma procesā.
Samazināt izplūdes temperatūras ietekmes termisko efektivitāti
Optimizēts konvekcijas sadaļas dizains
Palieliniet konvekcijas cauruļu skaitu
Palielinot konvekcijas cauruļu skaitu, var paplašināt kontakta laukumu starp dūmgāzu un sildīšanas virsmu, lai uzlabotu siltuma apmaiņas efektivitāti un samazinātu izplūdes temperatūru.
Optimizēts konvekcijas caurules izvietojums
Saprātīgs konvekcijas caurules izvietojums padara to efektīvāku, lai uztvertu un pārnestu dūmgāzes siltumu. Piemēram, pakāpenisku izkārtojumu vai spirāles izkārtojumu var izmantot, lai palielinātu plūsmas ceļu un uzturēšanās laiku dūmos caurulē.
Uzlabojiet sildīšanas virsmas efektivitāti
Izmantojiet efektīvus siltuma pārneses materiālus
Atlasiet materiālus ar augstu siltumvadītspēju, lai izveidotu sildīšanas virsmas, piemēram, nerūsējošo tēraudu, vara sakausējumu utt., Lai uzlabotu siltuma apmaiņas efektivitāti.
Saglabājiet apkures virsmu tīru
Regulāri notīriet putekļus un netīrumus uz sildīšanas virsmas un saglabājiet to virsmu tīru, lai uzlabotu siltuma pārneses efektivitāti. Putekļu uzkrāšanās un netīrumi samazinās sildīšanas virsmas siltuma pārneses veiktspēju, kā rezultātā palielināsies izplūdes temperatūra.
Pielāgojiet sadegšanas procesu
Saprātīga gaisa koeficienta kontrole
Gaisa pārmērības koeficients ir faktiskā gaisa padeves attiecība pret teorētisko gaisa padevi. Saprātīga liekā gaisa koeficienta kontrole, izvairieties no pārāk daudz gaisa krāsnī, var samazināt dūmu tilpumu, tādējādi samazinot izplūdes temperatūru.
Uzlabot degvielas sadegšanas efektivitāti
Optimizējot degļa dizainu un pielāgojot sadegšanas parametrus, piemēram, degvielas iesmidzināšanas ātrumu un sadegšanas kameras temperatūru, degvielas sadegšanas efektivitāti var uzlabot un samazināt nepilnīgas sadegšanas degvielas daudzumu, tādējādi samazinot izplūdes temperatūru.
Palieliniet atkritumu siltuma atjaunošanas iekārtas
Uzstādiet gaisa priekšsildītāju
Gaisa priekšsildītājs var izmantot dūmgāzes atkritumu siltumu, lai uzkarsētu gaisu, kas nonāk krāsnī, tādējādi uzlabojot sadegšanas efektivitāti un samazinot izplūdes temperatūru.
Iestatiet atkritumu siltuma katlu
Atkritumu siltuma katls var atgūt atkritumu siltumu dūmgāzē un pārveidot to noderīgā enerģijā, piemēram, tvaikā vai karstā ūdenī, tādējādi samazinot izplūdes temperatūru un uzlabojot enerģijas izmantošanas efektivitāti.
Citi pasākumi
Stiprināt izolācijas pasākumus
Laba siltuma saglabāšanas apstrāde horizontālās caurules krāsns krāsnī var samazināt siltuma zudumus un samazināt izplūdes temperatūru.
Regulāra apkope un uzturēšana
Horizontālās caurules krāsns regulāra apkope un uzturēšana, piemēram, apkures virsmas pārbaude, pelnu tīrīšana, sadegšanas parametru pielāgošana var nodrošināt tā normālu darbību un samazināt dūmu izplūdes temperatūru.
Jāatzīmē, ka dūmu izplūdes temperatūras samazināšanas procesā tādi faktori kā ekonomika, drošība un aprīkojuma uzticamība ir jāapsver visaptveroši. Tajā pašā laikā ir jāizvēlas arī atbilstoši pasākumi un metodes atbilstoši īpašajām procesa prasībām un darbības apstākļiem.
Turklāt, ja izplūdes temperatūra ir pārāk zema, tā var izraisīt zemas temperatūras rasas punkta koroziju siltummaiņas apmaiņas virsmā. Tāpēc, izvēloties izplūdes temperatūru, ir jāsver tādi faktori kā termiskā efektivitāte un aprīkojuma darbības laiks, lai nodrošinātu, ka izplūdes temperatūra var samazināt siltuma zudumus, neradot bojājumus aprīkojumam.
Populāri tagi: Horizontālā caurules krāsns, Ķīna Horizontālā cauruļu krāsns ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
Nosūtīt pieprasījumu
